稀释校准器
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Sabio 4010型智能化气体稀释校准器2012.07.04
可以方便地进行气体稀释,臭氧和渗透管校准。其中央CPU微处理技术通过55键薄膜键盘方便地保证了校准系统的精度和完善功能。该产品同时可用手动或半自动进行校准。
尺寸为:高22.2X宽43.2x深50.8cm,机架安装 稀释入口:1路标准;
源气入口:4路标准,1路吹扫;
稀释气质量流量控制:0-10SLM(0-20SLM可选);
源气气质量流量控制:0-100SCCM/0-2SLM;
流量精度:≤±1%FS;
流量重复:≤±0.15%FS;
线 性:≤±0.5%FS;
入口压力:20-35 PSIG;
多路输出:标准6个输出口;
可选件:内置臭氧发生器
5SLPM下0.05-1.5ppm;1%SP或5SLPM下2ppb
紫外吸收光度计
量程:0-0.5,1.0,2.0ppm
内置渗透管气体发生器
内置臭氧发生器参数:
输出:5SLPM下0.05-1.5ppm;
精度:1%SP或5SLPM下2ppb;
流量:100±1 SCCM;
内置紫外吸收光度计参数:
量程:0-0.5,1.0,2.0ppm;
线性:±1ppb或±1%FS;
精度:±1ppb;
内置渗透炉参数:
材质:玻璃或特氟龙;
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